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Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。
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