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普泰克 氣體制冷機(jī)給芯片 、模塊 、集成電路板、電子元器件等提供精確且快速的環(huán)境溫度。替代液氮為局部熱源提供快速降溫。產(chǎn)品電性能、可靠性、老化等測試提供冷源。

溫濕度調(diào)節(jié)裝置在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣，溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。