半導體溫控設備Chiller由制冷,加熱單元,循環(huán),控制系統(tǒng)組成,全密封結構對環(huán)境友好,產(chǎn)品系統(tǒng)多,控溫范圍廣,智能化控制軟件,加熱制冷速度快。
半導體恒溫系統(tǒng)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器(部分設備)、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術,高清顯示屏,設有多項保護功能,確保設備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件要求。
晶圓測試國產(chǎn)替代溫控系統(tǒng)晶圓生產(chǎn)完成后,需要對其進行各種參數(shù)的檢測,在檢測的過程中,需要在不同溫度下進行測試,晶圓測試用溫控設備(晶圓測試溫控系統(tǒng))是高精度,高分辨率,高穩(wěn)定性的控制設備。